TY - JOUR ID - TI - Study the effect of doping for various materials (F, Sb) on the properties of tin oxide (SnO2) film دراسة تأثير التشويب لمختلف المواد ( فلور ، انتيمون) على خصائص غشاء اوكسيد القصدير AU - Nagam T. Ali PY - 2015 VL - 33 IS - 9 Part (B) Scientific SP - 1693 EP - 1701 JO - Engineering and Technology Journal مجلة الهندسة والتكنولوجيا SN - 16816900 24120758 AB - In this research doped and undoped SnO2 was prepared by using cold wall atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD) system at substrate temperature (450 0C) and flow rate of O2 gas (1.5) L/M for (15) min using (SnCl2.5H2O) and different percentage from (NH3F) , (SbCl3) as source for (Sn, F, Sb).Several films were prepared by using different ratios of antimony (Sn:Sb ) as fallowing: (1: 0.3, 1: 0.5, 1:0.7, 1:1 Wt. %)and (SnO2:F) in ratios of (1: 0.1, 1: 0.3, 1:0.5, Wt.%).X-ray diffraction (XRD) spectra showschanging in structures for (Sb, F) with shift in peaks.Also roughness average values have been increased with increase of doping ratio. Optical properties have been studied by using UV-Vis spectroscopy. Electric properties had been studied. through spectroscopic study of these films was found to have a high transmittance in the visible region.

في هذ البحث تم تحضير اغشية اوكسيد القصدير المطعمة والغير المطعمة باستخدام منظومة الترسيب بالبخار الكيمياوي ذو الجدار البارد عند درجة حرارة اساس (450) درجة مئوية ومعدل جريان غاز(SnCl2.5H2O) (NH3F) , (SbCl3)الاوكسجين كان (1,5) لتر / دقيقة باستخدام بنسب مختلفةكمادة اولية ، حيث تم تحضير الاغشية لمختلف النسب لكلا الفلور والانتيمون .اظهرت نتائج الاشعة السينية تغيير بالتركيب باضافة كل من الفلور والانتيمون مع ازاحة بالقمم. مع ازدياد نسب التشويب تزداد خشونة السطح. جميع الاغشية شفافة وهذا ما م قياسه باستخدام المطيافية المرئية-وفوق البنفسجية. الخصائص الكهربائية تم قياسها ايضا. ER -