TY - JOUR ID - TI - Effect of Aluminum Doping on Structural Properties of CuO Thin Films Prepared by Chemical Spray Pyrolysis (CSP) Technique تأثير التطعيم بالألمنيوم على الخصائص التركيبية لأغشية (CuO) الرقيقة المحضرة بتقنية التحلل الكيميائي الحراري (CSP) AU - Ziad T. Khodair زياد طارق خضير AU - Ali Adwan H. علي عدوان حمود AU - Noora. H.Shallal نوره حبيب شلال PY - 2017 VL - 13 IS - 3 - part 2 SP - 198 EP - 208 JO - Academic Science Journal مجلة العلوم الاكاديمية SN - 83732222 25189255 AB - In this paper CuO thin films were prepared using chemical spray pyrolysis technique (CSP) with different dopant concentration of Al+3 (0, 3, 5 and 7)% at substrate temperature of (400 ºC), and thickness of about (400±10) nm .The structural properties of (CuO: Al) thin films were studied using X-ray diffraction technique. The investigation through the above technique, appeared the structure of CuO which was of crystalline monoclinic and preferred orientation along (111) plane. Also the structural studies showed the decrease of average grain size with increase of (Al) dopant concentration were in the range of (12.57-11.69 nm). The structural parameters including dislocation density (δ), and number of crystal per unite area (No) were also calculated. The atomic force microscopes (AFM) results showed that the root mean square (RMS) and surface roughness increases with increase of (Al) dopant.

تم في هذا البحث تحضير أغشية اوكسيد النحاس (CuO) الرقيقة المشوبة بعنصر (Al) و بنسب حجمية (0, 3, 5, 7 %) بطريقة التحلل الكيميائي الحراري، وذلك بترسيبها على قواعد زجاجية بدرجة حرارة (400 ºC) ، وسمك مقداره (400±10) nm. درست الخصائص التركيبية لأغشية (CuO: Al) باستعمال طريقة حيود الاشعة السينية، والتي أظهرت أن اغشية (CuO) ذات تركيب بلوري احادي الميل و باتجاه تفضيلي (111)، وبينت الدراسة التركيبية كذلك نقصان معدل الحجم الحبيبي مع زيادة التطعيم بالألمنيوم وبمقدار (12.57-11.69 nm) ، الثوابت البصرية تضمنت حساب كثافة الانخلاعات (δ) وعدد البلورات لوحدة الحجم(No) . اظهرت نتائج فحوصات مجهر القوة الذرية (AFM) ان كل من مربع متوسط الخشونة(RMS) وخشونة السطح تزداد مع زيادة نسب التطعيم بالألمنيوم . ER -