TY - JOUR ID - TI - Preparation and Study of Cadmium Oxide Doped Gallium Oxide Thin Films and application of Gas Sensor تحضير ودراسة الخصائص التركيبية والبصرية لأغشية أوكسيد الكادميوم النقيوالمطعم بأوكسيد الكاليوم وتطبيقها كمتحسس غاز AU - Salah sh.hamd صلاح شهاب حمد AU - Asmiet Ramizy عصمت رمزي عبد الغفور AU - Isam M. Ibrahim عصام محمد ابراهيم PY - 2017 VL - 9 IS - 2 SP - 10 EP - 20 JO - Journal of Kufa - physics مجلة الكوفة للفيزياء SN - 20775830 23126671 AB - In this paper, the structure and optical properties of pure cadmium oxide films, and doped with gallium oxide have been achieved, the films were deposited on glass and silicon substrates, with different ratios (1,3,5,7)% via spry pyrolysis method, at the substrate temperature of ̊ C300. XRD results showed that all prepared films had a cubic polycrystalline structure, with preferred orientation of (111) for cadmium oxide. Surface morphology was studied using atomic force microscope (AFM), the grain size of the thin films was about 105.42-69.07 nm, with surface roughness is about (3.32-0.901) nm and root mean square (RMS) (3.97-1.05) nm for cadmium oxide films. The optical properties were studied using UV-VIS spectroscopy at wavelength (300-1100 nm), It was observed that the value of transmittance increases when the gallium doping are increasing and the films have a direct energy gap about (2.3-4) eV that increases with the increase in gallium concentration. Sensitivity properties of pure cadmium oxide films, and doped with gallium oxide was deposed on silicon substrates of NO2 gas at different operation temperatures was found that the films of CdO doped with Gallium oxide on silicon substrate has greater sensitivity than the films than the undoped and that the doping has improved the sensitivity of the membranes CdO.

جرى في هذا البحث مناقشة الخصائص التركيبية والبصرية والتحسسية لأغشية رقيقة من أوكسيد الكادميوم النقية والمطعمة بأوكسيد الكاليوم المرسبة على قواعدالزجاج والسيلكون بتراكيز مختلفة من اوكسيد الكاليوم %(1,3,5,7) بواسطة تقنية التحلل الكيميائي الحراري في درجة حرارة ̊ C300. أظهرت نتائج حيود الاشعة السينية (XRD) أن جميع الاغشية المحضرة تمتلك تركيب مكعبي (cubic) متعدد التبلور (polycrystalline) وان الاتجاه المفضل هو (111) لأوكسيد الكادميوم. درست طبوغرافية السطح من خلال مجهر القوة الذرية (AFM) وقد تبين أن الحجم الحبيبي للأغشية الرقيقة المحضرة حوالي(69.07-105.42)nm ،مع خشونة السطح(0.901-3.32) nm وكان متوسط الجذر التربيعي (RMS)(1.05-3.97)nm لأغشية أوكسيد الكادميوم، وقد تمت دراسة الخصائص البصرية بواسطة ﻣﻄﯿﺎفاﻟﻨﻔﺎذﯾﺔﻟﻼﺷﻌﺔاﻟﻤﺮﺋﯿﺔ –ﻓﻮقاﻟﺒﻨﻔﺴﺠﯿﺔ (UV-VIS)عند طول موجي ,(300 - 1100 nm) ولوحظ أن قيمة النفاذية تزداد عند التطعيم وان الأغشية تمتلك فجوة طاقة مباشرة تزداد بزيادة التطعيم(2.3-4) eV , الخصائص التحسسية لأغشية أوكسيد الكادميوم المطعم باوكسيد الكاليوم والمرسبة على قواعد السيلكون اتجاه غاز NO2 بدرجات حرارة مختلفة, وجد أن أغشية CdO المطعمة باوكسيدالكاليوم والمرسبة على قواعد السيلكون تمتلك تحسسية أكبر من الأغشية غير المطعمة اتجاه غاز NO2 أي أن التطعيم أدى الى تحسين الخواص التحسسية لأغشية CdO.. ER -