TY - JOUR ID - TI - Electrical Discharge Characterization of Planar Sputtering System for Gold Target توصيف التفريغ الكهربائي لمنظومة الترذيذ باستخدام هدف من الذهب AU - Dawood Salman Ali داود سلمان علي AU - Saadi Khalaf Faihan سعدي خلف فيحان AU - Mohammed Jwair Dathan محمد جوير داثان AU - Mohammed Khammass Khalaf محمد خماس خلف PY - 2019 VL - 15 IS - 1 SP - 1 EP - 8 JO - Academic Science Journal مجلة العلوم الاكاديمية SN - 83732222 25189255 AB - Before using any sputtering system, the extent of the operating pressures and voltages must be known by studying the breakdown curve with the product of the working pressure times the inter electrode distance. In this paper, argon breakdown by dc electrical potentials was experimentally studied. Paschen curves for argon gas were obtained by measuring the breakdown voltage of argon using gold target. These curves display that the breakdown voltage in Ar gas between two planer electrodes comparable with (P. d). The I-V characteristics of the plasma discharge point to that the discharge is working in the abnormal glow region.

قبل استخدام أي منظومة ترذيذ يجب معرفة مدى الضغوط والفولتية التي تعمل فيها من خلال دراسة منحنى فولتية الانهيار مع حاصل ضرب الضغط في المسافة بين القطبين.تم في هذا البحث عمل دراسة عملية لجهد الانهيار في غاز الأركون باستخدام مجال كهربائي مستمر. تم الحصول على منحنيات باشن لغاز الأركون عن طريق قياس جهد انهيار الغاز باستخدام هدف من الذهب. بينت هذه المنحنيات أن جهد الانهيار لغاز الأركون ان التفريغ الكهربائي بين القطبين المستويين يكون كدالة لـ (P.d)(حاصل ضرب الضغط داخل الحجرة في المسافة بين الاقطاب). بينت خصائص التيار -فولتية أن التفريغ يعمل في منطقة التوهج فوق الطبيعي ER -