TY - JOUR ID - TI - Plasma Spectroscopy Diagnostics of V2O5 at a Variable of Operating Power and Pressure With Radio Frequency Magnetron Sputtering. التشخيص الطيفي للبلازما لمادة خامس اوكسيد الفاناديوم في الترذيذ الماكنتروني بالترددات الراديوية مع تغير طاقة التشغيل والضغط AU - Ibrahim K. salman إبراهيم خلف سلمان AU - Mohammed K. Khalaf محمد خماس خلف AU - N. K. Hassan نديم خالد حسن AU - Hanaa Eesa Jasim هناء عيسى جاسم PY - 2019 VL - 16 IS - 1 Supplement SP - 209 EP - 214 JO - Baghdad Science Journal مجلة بغداد للعلوم SN - 20788665 24117986 AB - In this paper, we investigate the basic characteristics of "magnetron sputtering plasma" using the target V2O5. The "magnetron sputtering plasma" is produced using "radio frequency (RF)" power supply and Argon gas. The intensity of the light emission from atoms and radicals in the plasma measured by using "optical emission spectrophotometer", and the appeared peaks in all patterns match the standard lines from NIST database and employed are to estimate the plasma parameters, of computes electron temperature and the electrons density. The characteristics of V2O5 sputtering plasma at multiple discharge provisos are studied at the "radio frequency" (RF) power ranging from 75 - 150 Watt and gas pressure (0.03, 0.05 and 0.007) torr. One can observe that the intensity of the emission lines increases with increasing the sputtering power. We find that the electron temperature excess drastically from 0.95 eV to 1.11eV when the emptying gas pressure excess from 0.03 to 0.05 Torr. On other hand excess electron temperature from 0.9 to 1.01 eV with increasing sputtering power from 100 to 125 Watt, while the electron density decrease from 5.9×1014 to 4.5×1014 cm-3 with increasing sputtering power. and electron density decrease with increasing of pressure from 4.25×1014 to 2.80×1014 cm-3, But the electron density maximum values 5.9×1014 at pressure 0.03 Torr.

في هذا البجث، تم التحقق من الخصائص الأساسية لبلازما الترذيذ الماكنتروني باستخدام الهدف V2O5. تم إنتاج البلازما باستخدام الترذيذ الماكنتروني ببمجهز طاقة بالترددات الراديوية وغاز الاركون. تم قياس شدة الانبعاث الضوئي من الذرات والجذور في البلازما باستخدام مقياس الطيف الضوئي البصري، وكانت القمم التي ظهرت في جميع الأنماط متطابقة مع خطوط معيارية من قاعدة بيانات( NIST ) وتستخدم لتقدير معلمات البلازما لحساب كثافة الإلكترونات و درجة حرارة الإلكترون. تمت دراسة خصائص البلازما في ظروف التفريغ المختلفة. طاقة الترددات الراديوية تتراوح من 75 إلى 150 واط وضغط الغاز( 0.03 ، 0.05 و 0.007) تور. وجدنا أن كثافة خطوط الانبعاثات تزداد مع زيادة طاقة الترذيذ . و أن درجة حرارة الإلكترون زادت من )0.95 إلى 1.11) الكترون فولت عندما زاد ضغط غاز التفريغ من 0.03 إلى 0.05 تور.من جهة أخرى زادت درجة حرارة الإلكترون من ( 0.9 إلى 1.01 ) الكترون فولت مع زيادة طاقة الترذيذ من 100 إلى 125 واط ، بينما تنخفض كثافة الإلكترون من(5.4 – 4.5) x1014 cm-3 مع زيادة طاقة الترذيذ. ايظا كثافة الإلكترون تنخفض من x1014 cm-3(2.80 - 4.25) مع زيادة الضغط ، ولكن اقصى قيمة لكثافة الإلكترون كانت 3 cm- x1014 5.9 عند ضغط 0.03 تور . ER -