TY - JOUR ID - TI - Effect of Alumina-Doping on Structural and Optical Properties of Zno Thin Films by Pulsed Laser Deposition تاثير الالمنيوم المشوب على الخصائص التركيبية والبصرية للغشاء الرقيق ZnO بواسطة الترسيب بالليزر (PLD) AU - Ali A. Yousif AU - Nadir F. Habubi AU - Adawiya J.Haidar PY - 2010 VL - 28 IS - 14 SP - 4677 EP - 4686 JO - Engineering and Technology Journal مجلة الهندسة والتكنولوجيا SN - 16816900 24120758 AB - Alumina-doped Zinc Oxide (AZO) thin films on quarts glass substrateshave been deposited by pulsed laser deposition technique using a pulsed Nd-YAG laser with the wavelength of (ë= 532 nm) and duration (7ns).The structural and optical properties of these films were characterized as a function of Al2O3 content (0-5w.t%)in the target at substrate temperatures (400°C) and energy fluence (0.4 J/cm2). The X-ray diffraction patterns of the films showed that the undoped and Al2O3 -doped ZnO films exhibit wurtzite crystal structure and high crystalline quality. The optical properties were characterized bytransmittance, absorption spectroscopy measurements. For all films the average transmission in the wavelength range (330-900) nm was over 90% and the absorption edge shifted toward a shorter wavelength as Al2O3 concentration increased. The optical energy gap of Al2O3 doped ZnO thin films, measured from transmittance spectra could be controlled between (3.32eV and 3.59eV) by adjusting alumina concentration. AFM results show that the samples with increasing concentration of Al2O3, the surface roughness increases

جرى ترسيب اغشية اوكسيد الخارصين المطعمة بالالومينا على قواعد الكوارتز بتقنية الترسيب 532 ) و امد نبضة nm) بالليزر باستخدام ليزر النيدميوم-ياك النبضي العامل بالطول الموجي .(7ns) 0-5% )و wt) تم دراسة الخصائص البصرية و التركبية للاغشية المحضرة كدالة لنسبة تطعيم 0.4 ).اظهرت انماط حيود اشعة اكس J/cm) بدرجة حرارة 400 درجة مئوية وكثافة طاقة التركيب السداسي لاوكسيد في حبيباته للاهداف المطعمة و الغير مطعمة و تبلور عالي . اما بالنسبة للخصائص البصرية و التي تبينت من خلال اخذ طيف النفاذية,فكانت معدل330-900 ) اعلى من % 90 و زحزحة حافة nm) النفاذية للاغشية كلها ضمن ا لمدى الطيفي الامتصاص باتجاه الاطوال الموجية القصيرة بزيادة تركيز الالومينا. وحسب فجوة الطاقة من 3.32-3.59 ) من خلال تغير تركيز الالومينا.وقد eV) خلال طيف النفاذية وكانت تتراوح بين اظهرت نتائج مجهر القوى الذري زيادة الخشونة بزيادة تركيزنسبة الالومينا الى اوكسيد الخارصين . ER -