TY - JOUR ID - TI - The Structural and Optical Properties of Hydrogenated and Nitrogenated a-Si0.1Ge0.9 and a-Si0.1Ge0.9:3% B Thin Films الخصائص التركيبية والبصرية للأغشية الدقيقة المهدرجة والمنترجة Si0.1Ge0.9 النقية والمطعمة بـ %3 بورون AU - M. F. A. Alias ميسون فيصل ألياس PY - 2009 VL - 7 IS - 9 SP - 67 EP - 79 JO - Iraqi Journal of Physics المجلة العراقية للفيزياء SN - 20704003 26645548 AB - It is shown that pure and 3% boron doped a-Si0.1Ge0.9:H and a-Si0.1Ge0.9:N thin films could be prepared by flash evaporation processes. The hydrogenation and nitrogenation are very successful in situ after depositing the films. The FT-IR analysis gave all the known absorbing bonds of hydrogen and nitrogen with Si and Ge.
Our data showed a considerable effect of annealing temperature on the structural and optical properties of the prepared films. The optical energy gap (Eopt.) of a-Si0.1Ge0.9 samples showed to have significant increase with annealing temperature (Ta) also the refractive index and the real part of dielectric constant increases with Ta, however the extinction coefficient and imaginary part of dielectric constant decrease. The hydrogen and nitrogen alloying caused an increase in the indirect band gap(Eopt.), refractive index and extinction coefficient of a-Si0.1Ge0.9 and a-Si0.1Ge0.9:3% B. The boron doped films caused a decrease in Eopt., refractive index and real part of dielectric constant while the extinction coefficient and imaginary part of dielectric constant increased

تم تحضير اغشيةa-Si0.1Ge0.9:H وa-Si0.1Ge0.9:N النقية والمطعمة بالبورون بطريقة التبخير والوميضي.وتم بنجاح هدرجة ونترجة الاغشيةفي موقعها الاصلي بعد الترسيب. اعطت تحليلات FTIR اواصرالامتصاص للهيدروجين والنتروجين مع كل من السليكون والجرمانيوم كمااعطت تحليلات x-ray تركيب الاغشية المحضرة.اوضحت النتائج ان التلدين يؤثر على الخصائص التركيبية والبصرية للاغشية المحضرة حيث ان تركيب الاغشية المحضرة كان عشوائي لكل درجات حرارة التلدين ولكن فجوة الطاقة البصرية(Eopt) تزداد للاغشية غير المهدرجة او المنترجة مع زيادة درجة حرارة التلدين(Ta) وكذلك كل من معامل الانكسار وثابت العزل الحقيقي مع زيادة Ta بينما يقل معلمل الخمود وثابت العزل الخيالي.تؤدي الهدرجة والنترجة للاغشيةزيادة في فجوةالطاقة الغير مباشرة ومعامل الانكسار والخمود للاغشية النقية والمطعمة بالبورون.كما ان التطعيم بالبورون ادى الى نقصان في فجوة الطاقة البصرية ومعامل الانكسار وثابت العزل الحقيقي بينما تنخفض قيمة كل من معامل الخمود وثابت العزل الخيالي ER -