@Article{, title={Influence of Shape Design of MEMS (Micro-Cantilever Based Sensor) on High-Sensitivity تاثیر تصمیم شكل المستشعر الكابولي الادق على زیادة التحسس}, author={Ibtissam Mahdi Shihab}, journal={Engineering and Technology Journal مجلة الهندسة والتكنولوجيا}, volume={30}, number={20}, pages={3581-3595}, year={2012}, abstract={In this paper, a novel analysis was carried out on the biosensor microcantileversin order to increase the sensitivity of a micro- cantilever basedbiosensor piezoresistive. Holes were made and compared with the basicrectangular (R), triangular (T), and step(S) profile cantilever. Effect of changingthe micro-cantilevers profile and its cross-section shape was investigated. A finiteelement ANSYS was used to analyze these models. The micro-cantilevers aremade of silicon with elastic modulus 130Gpa and poisson’s ratio 0.28. Severalcases were studied by making one, two and three holes in each biosensorpiezoresistive micro-cantilevers (rectangular (R), triangular (T), and step(S) profilecantilever). Results showed that triangular micro-cantilever with two holes (T22)has the better sensitivity, also showed T12 respectively 61.7% and 65% highersensitivity than R12, S12.

لغ رض (Micro-Cantilever based sensor ) فى ھذا البحث تم اجراء تحلیل مبتك ر عل ىزیادة التحسس من خلال عمل ثقوب دائریھ فى عتبات المستش عر الت ي ھ ى بمقط ع مس تطیل مثل ثومتدرج. لغرض اجراء المقارنھ بینھما من خ لال دراس ة ت اثیر تغی ر مقط ع ش كل العتب ھ عل ى اداء130 و نسبة بویسن 0.28 Gpa المستشعر .و تم استخدام مادة السلیكون والذي لھ معامل المرونةت م دراس ة ع دة .ANSYS لتص نیع المتحسس ات ولغ رض تحلی ل ھ ذه النم اذج ت م اس تخدام طریق ةح الات م ن خ لال وج ود ثق ب واح ده او ثقب ان او ثلاث ة ثق وب ف ى ك ل م ن المق اطع الثلاث ھ مثل ث،م ع (T مستطیل ومتدرج. اظھرت نتائج الدراسھ بان العتبھ ( المستشعر ) ذات المقطع المثلث( 22، R اكث ر بالتت ابع م ن 12 (T وجود ثقب ان ھ ى الاكث ر تحس س للاجھ ادات واظھ رت ایض ا ب ان( 12ةبسنب % 61.7 و % 65 ھى الاكثر تحسس للاجھادات. S12} }