@Article{, title={Double probe for measuring the plasma parameters قياس متغيرات البلازما بأستخدام المجس الثنائي}, author={Raad M.S.Al-Haddad رعد محمد صالح الحداد and Ali A – K. Hussain علي عبد الكريم حسين and Emad A. Salman عماد عبد الرزاق سلمان}, journal={Iraqi Journal of Physics المجلة العراقية للفيزياء}, volume={10}, number={18}, pages={11-16}, year={2012}, abstract={In this work the diode planer magnetron sputtering device was designed and fabricated. This device consists of two aluminum discs (8cm) diameter and (5mm) thick. The distance between the two electrodes is 2cm, 3cm, 4cm and 5cm. Design and construction a double probe of tungsten wire with (0.1mm) diameter and (1.2mm) length has been done to investigate electron temperature, electron and ion density under different distances between cathode and anode. The probes were situated in the center of plasma between anode and cathode. The results of this work show that, when the distance between cathode and anode increased, the electron temperature decreased. Also, the electron density increases with the increasing of the distance between the two electrodes. The behavior of ion density is similar to that of electrons but the value is higher.

في هذا العمل تم تصميم وتصنيع منظومة الترذيذ المغناطيسي المستمر المستوية. تحتوي هذه المنظومة على قطبين من الألمنيوم بقطر (8سم) وبسمك (5ملم) والمسافة التي تفصل بينهما هي 2سم, 3سم, 4سم و5سم. بالإضافة إلى ذلك تم تصميم وتصنيع مجس ثنائي بقطر (0.1ملم) وطول (1.2ملم) مصنوع من مادة التنكستن لتشخيص درجة حرارة الإلكترون وكثافة الإلكترونات وكثافة الايونات بمسافات مختلفة بين الكاثود والآنود. تم دراسة تأثير المسافة بين الأقطاب على خواص البلازما وبينت النتائج في هذه الدراسة أنه عند زيادة المسافة بين الكاثود والآنود فأن درجة حرارة الإلكترون تقل وكذلك فأن كثافة الالكترونات تزداد بزيادة المسافة بين الأقطاب وان سلوك كثافة الايونات نفس سلوك الالكترونات ولكن بقيمة أعلى.} }