@Article{, title={Measurement of Electron Temperature ( ) in a Positive Column By Using Double Probe Method}, author={Raad M. Al-Haddad and Ali A – K.Hussain and Emad A. Salman}, journal={Univesity of Thi-Qar Journal مجلة جامعة ذي قار العلمية}, volume={8}, number={2}, pages={232-239}, year={2013}, abstract={In this work the diode planer magnetron sputtering device was designed and fabricated. This device consist from two aluminum disc (8cm) diameter and (5mm) thick. The distance between the two electrodes is (3cm). Design and construction double probe made from tungsten wire with (0.1mm) diameter and (1.2mm) length, to investigate the electron temperature under different argon gas pressure. The probes was situated in the center of plasma between anode and cathode. The effect of the argon gas pressure on electron temperature was studied as this distance. The result of this work shown that, when the argon gas pressure increased, the electron temperature will decreased.

في هذا العمل تم تصميم وتصنيع منظومة الترذيذ المغناطيسي المستوية المستمر. تحتوي هذه المنظومة على قطبين من الألمنيوم بقطر (8سم) وبسمك (5ملم) والمسافة التي تفصل بينهما هي (3سم).بالإضافة إلى ذلك تم تصميم وتصنيع مجس ثنائي بقطر (0.1 ملم) وطول (1.2 ملم) مصنوع من مادة التنكستن لتشخيص درجة حرارة الإلكترون وبضغوط مختلفة لغاز الآركون. ويتم وضع المجس في مركز البلازما بين القطبين الموجب والسالب. كذلك تضمن البحث دراسة تأثير ضغط غاز الآركون على درجة حرارة الإلكترون عند المسافة المحددة. إن نتائج هذه الدراسة بينت أنه عند زيادة الضغط فأن درجة حرارة الإلكترون تقل.} }