TY - JOUR ID - TI - Enhancement of gas response of annealed ZnO film for hydrogen gas detection تعزيز استجابة غشاء اوكسيد الخارصين الملدن للكشف عن غاز الهيدروجين AU - Thamir A.A. Hassan ثامر عبد الامير حسن PY - 2014 VL - 12 IS - 23 SP - 73 EP - 79 JO - Iraqi Journal of Physics المجلة العراقية للفيزياء SN - 20704003 26645548 AB - The mechanism of hydrogen (H2) gas sensor in the range of 50-200 ppm of RF-sputtered annealed zinc oxide (ZnO) and without annealing was studied. The X-ray Diffraction( XRD) results showed that the Zn metal was completely converted to ZnO with a polycrystalline structure. The I–V characteristics of the device (PT/ZnO/Pt) measured at room temperature before and after annealing at 450 oC for4h, from which a linear relationship has been observed. The sensors had a maximum response to H2 at 350 oC for annealing ZnO and showed stable behavior for detecting H2 gases in the range of 50 to 200 ppm. The annealed film exhibited higher response than the film without annealing.. The sensing mechanism was modeled according to the oxygen–vacancy model.

درست في هذا البحث ميكانيكية تحسس متحسسات الهيدرجين من تركيز 50 الى 200 جزء بالمليون لاغشية ZnO الملدنة بدرجة 450 درجة مئوية لمدة اربعة ساعات وللاغشية غير الملدنة والمحضرات بطريقة RF-sputtering. واظهرت نتائج فحوصات الاشعة السينية تكون غشاء اوكسيد الخارصين متعدد التبلور, وكما اظهرت قياسات تيار – فولتية للمتحسس بلاتين/اوكسيد الخارصين/بلاتين قبل التلدين وبعده وجود علاقة خطية للغشاء الملدن. واظهرت نتائج استجابة الغشاء الملدن كانت اقصاها في درجة حرارة 350 درجة مئوية. كما واظهرت النتائج ان سلوك مستقر في استجابة المتحسسات لتراكيز الهيدروجين من50-200 جزء بالمليون واستجابة اعلى للاغشية الملدنة. واعتمد على نموذج اوكسجين- فراغ في تفسير ميكانيكية التحسس. ER -