Fulltext

Study the Effect of Deposition Angle on Structural Properties of Zn thin films

دراسة تاثيرزاوية الترسيب على الخصائص التركيبية لاغشية الخارصين

Ali M .Mousa --- Muslim F.Jawad --- Wafaa K. Khalef

Journal of College of Education مجلة كلية التربية
ISSN: 18120380 Year: 2012 Issue: 3 Pages: 32-53
Publisher: Al-Mustansyriah University الجامعة المستنصرية

Abstract

The effect of deposition angle on the structural properties of deposited Zn thin metallic film was studied. The films were deposited obliquely at different angles (0º, 50º, 60º, 70ºand 80º) by vaccum evaporation with resistive heating technique at different deposition angles. XRD technique used to study the crystalline structure of these films .confirm the polycrystalline nature of these films and the higher intensity accompanied that deposited with (70˚). Some structural parameters such as grain size, micro strain, shape factor, number of layers as a function of deposition angle were calculated. The surface morphology of the deposited materials has been studied using atomic force microscopes (AFM) and optical reflection microscope. The AFM results revel an increase in the film's roughness from (33.7 to 39.2) nm when Ө◦ change from 0◦ to 80◦. Reflection microscope results showed that the smoothness and homogeneity of the films are decreasing with increasing the deposition angle Ө˚, and the surface roughness increased with increasing angle.

في هذا البحث تمت دراسة تاثير زاوية الترسيب على الخصائص التركيبية لاغشية الخارصين(Zn) المعدنية المرسبة بتقنية الترسيب المائل (oblique angle deposition technique) بالمقاومةالحرارية في الفراغ و بزوايا مختلفة (º80 , º 50,60,70 , º 0) . تم استخدام تقنية حيود الاشعة السينية لقياس الخصائص التركيبية ,وظهر ان غشاء الخارصين هو من النوع المتعدد البلورات وان الترسيب بزاوية (º 70 ) اعطى اعظم شدة حيود . بالإضافة إلى ذلك فقد تم حساب بعض الخصائص التركيبيه مثل الحجم الحبيبي والإجهاد المايكروي وعامل الشكل وعدد الطبقات بدلاله تغيير زاوية الترسيب وتأثير ذلك على هذه الخصائص. استخدم مجهر القوة الذري(AFM ) للتحليل السطحي لاغشية المواد المرسبة بشكل رئيسي بالاضافة الى استخدام المجهر البصري العاكس. اظهرت نتائج التركيب السطحي للاغشية المرسبة زيادة في خشونة السطح من (33.7 -39.2 ) نانومتر لمادة الخارصين عندما تزداد زاوية الترسيب من(º0-º80). واظهرت نتائج المجهر الضوئي هنالك نقصان في نعومة وانتظامية سطح الغشاء مع زيادة زاوية الترسيب , وان خشونة السطح تزداد مع زيادة زاوية الترسيب .

Keywords

oblique deposition --- thin films --- X-ray diffraction. --- الترسيب المائل --- الاغشية الرقيقة --- حيود الاشعة السينية .