Fulltext

Fabrication and Characterization of ZnO Gas Sensor

تصنيع و توصيف كاشف غازي ZnO

Alaa A. Abdul-Hamead --- Farhad M. Osman --- Alaa S. Taeeh

Engineering and Technology Journal مجلة الهندسة والتكنولوجيا
ISSN: 16816900 24120758 Year: 2014 Volume: 32 Issue: 9 Part (A) Engineering Pages: 2303-2312
Publisher: University of Technology الجامعة التكنولوجية

Abstract

In this paper thin films of zinc oxide ZnO was prepared by spray pyrolyess method with thickness were about ( 0.1 ±0.05 µm) on n-type silicon substrates at different deposition temperature (300,400,500) C°, from zinc chloride at concentrations (0.05,0.1) M as a sensor for pollutant gases like CO2 , NO2, and H2S related with oil manufacture .The crystallinity and morphology of the films were characterized by XRD, and optical microscopy was done on prepared films , addition to sensitivity to polluting gases previously mentioned at different test temperature (10-50) C°. Result shows that the crystallization increased by increasing deposition temperature(substrate temperature), and the sensitivity increased by rising both of the gas concentration or temperature.

تم في هذا البحث تحضير أغشية من اوكسيد الزنك ZnO بطريقة الرش الكيميائي الحراري و بسمك حوالي (0.1 ± 0.05 µm) على قواعد من السليكون نوع السالب , و بدرجات حرارة ترسيب مختلفة بلغت(300,400,500) C° لمادة كلوريد الزنك و بتراكيز (0.05,0.1) M ككاشف للغازات الملوثة مثل(CO2 ,NO2 و H2S ) المرتبطة مع الصناعة النفطية. تم تشخيص التبلور و تشكل سطح الأغشية المحضرة (مورفولوجية ) بواسطة حيود الأشعة السينية XRD و المجهر الضوئي لها ,بالإضافة إلى الحساسية لغازات الملوثة المذكورة عند درجات حرارية اختباريه مختلفة .(10-50 Cᵒ) أظهرت النتائج زيادة في التبلور مع زيادة درجة حرارة الترسيب (درجة حرارة القواعد )علاوة على زيادة الحساسية مع زيادة كل من تركيز الغاز و درجة الحرارة.

Keywords

ZnO thin film --- gas sensor --- spray pyrolyess --- pollutant gases --- XRD