research centers


Search results: Found 1

Listing 1 - 1 of 1
Sort by

Article
Diagnostics of low-pressure capacitivelycoupled RF dischargeargon plasma
تشخيص التفريغ الكهربائي عند الضغط الواطئ لمنظومة الاقتران السعوي ذو الترددات الراديوية لبلازما الاركون

Loading...
Loading...
Abstract

Low-pressure capacitively coupled RF discharge Ar plasma has been studied using Langmuir probe. The electron temperature, electron density and Debay length were calculated under different pressures and electrode gap. In this work the RF Langmuir probe is designed using 4MHz filter as compensation circuit and I-V probe characteristic have been investigated. The pressure varied from 0.07 mbar to 0.1 mbar while electrode gap varied from 2-5 cm. The plasma was generated using power supply at 4MHz frequency with power 300 W. The flowmeter is used to control Argon gas flow in the range of 600 standard cubic centimeters per minute (sccm). The electron temperature drops slowly with pressure and it's gradually decreased when expanding the electrode gap.As the gas pressure increases, the plasma density rises slightly at low gas pressure while it drops little at higher gas pressure. The electron density decreases rapidly with expand distances between electrodes.

تم دراسة التفريغ الكهربائي لبلازما الاركون عند الضغط الواطئ لمنظومة الاقتران السعوي ذو الترددات الراديوية باستخدام مجس لانكمور. وكذلك تم حساب درجة حرارة الالكترون وكثافة الالكترون وطول ديباي مع اختلاف الضغوط والمسافة بين القطبين. في هذا العمل صمم مجس لانكمور ذو الترددات الراديوية باستخدام مرشح 4 ميكا هيرتز كدائرة تعويض وبحثت العلاقة بين الفولتية والتيار. تم تغيير الضغط من 0.07 الى 0.1 ملي بار بينما تم تغيير المسافة بين القطبين من 2 الى 5 سنتمتر. استخدم مجهز قدرة ذو تردد 4 ميكا هيرتز لتوليد البلازما بطاقة 300 واط. وكذلك استخدم مقياس التدفق بمدى 600 سنتمتر مكعب بالدقيقة للسيطرة على تدفق غاز الاركون.ووجد ان درجة حرارة الالكترون تتناقص مع زيادة الضغط وتتناقص ايضا مع زيادة المسافة بين الاقطاب بينما تتزايد كثافة الالكترون عند زيادة الضغط وتتناقص عند زيادة المسافة بين الاقطاب.

Listing 1 - 1 of 1
Sort by
Narrow your search

Resource type

article (1)


Language

English (1)


Year
From To Submit

2015 (1)