research centers


Search results: Found 1

Listing 1 - 1 of 1
Sort by

Article
Effect of electrode separation in magnetron DC plasma sputtering on grain size of gold coated samples
تأثير المسافة بين الاقطاب في الترذيذ البلازمي المغناطيسي المستمر على حجم حبيبات الذهب المطلية على النماذج

Authors: K. A. Yahya خالد عباس يحيى --- B. F. Rasheed بان فيصل رشيد
Journal: Iraqi Journal of Physics المجلة العراقية للفيزياء ISSN: 20704003 Year: 2017 Volume: 15 Issue: 35 Pages: 202-210
Publisher: Baghdad University جامعة بغداد

Loading...
Loading...
Abstract

In this work, an experimental research on a low voltage DC magnetron plasma sputtering (0-650) volt is used for coating gold on a glass substrate at a constant pressure of argon gas 0.2 mbar and deposition time of 30 seconds. We focused on the effects of operating conditions for the system such as, electrode separation and sputtering current on coated samples under the influence of magnetic flux. Electron temperature and electrons and ions densities are determined by a cylindrical single Langmuir probe. The results show the sensitivity of electrode separation lead to change the plasma parameters. Furthermore, the surface morphology of gold coated samples at different electrode separation and sputtering current were studied by atomic force microscopy (AFM). The AFM analysis showed that the variation of average grain diameter and average grain height is nonlinear with a minimum value of average grain diameter 90 nm at electrode separation of 4 cm and 30 mA sputtering current.

بحث عملي في مجال دراسة الترذيذ البلازمي المستمر ذو الفولتيات الواطئة (0-650v) لطلاء حبيبات الذهب على نماذج من مادة الزجاج وتحت ضغط ثابت لغاز الاركون 0.2 mbar و زمن طلاء 30 sec. تركز البحث على دراسة تأثير الظروف التشغيلية للمنظومة على ابعاد الاقطاب وتيار الترذيذ تحت تأثير المجال المغناطيسي. تم تحديد قيم درجات حرارة الالكترونات وكثافة الايونات والالكترونات بطريقة تشخيص البلازما باستحدام مجس لانكمور اسطواني مفرد. أظهرت النتائج تأثير تغيير المسافة بين الاقطاب على اعلومات البلازما. اضافة الى ذلك فقد تمت دراسة خصائص اشكال النماذج المطلية بالذهب مع تغيير المسافة بين الاقطاب باستخدام مجهر القوة الذرية (AFM). ان نتائج تحليلات (AFM) بينت تأثيرات المسافة بين الاقطاب على معدل قطر وارتفاع حبيبات الذهب المطلية وان هذه التغيرات بعلاقة ليست خطية, وان اقل قيمة لمعدل قطر الحبيبة 90 nm عندما كانت المسافة بين الاقطاب 4 cm و تيار ترذيذ 30 mA.

Listing 1 - 1 of 1
Sort by
Narrow your search

Resource type

article (1)


Language

English (1)


Year
From To Submit

2017 (1)