research centers


Search results: Found 1

Listing 1 - 1 of 1
Sort by

Article
Investigation of the Electron Energy Distribution Function in Capacitively Coupled (13.56 MHz) Radio Frequency Discharge in Dry Air
دراسة دالة التوزيع الطاقي للالكترونات في التفريغ الراديوي السعوي 13.56MHz في الهواء الجاف

Authors: Haitham A. Al-Rawachy هيثم عبد الحميد --- Heba T. Al-Saoor هبة طارق
Journal: Rafidain journal of science مجلة علوم الرافدين ISSN: 16089391 Year: 2013 Volume: 24 Issue: 6E Pages: 82-95
Publisher: Mosul University جامعة الموصل

Loading...
Loading...
Abstract

In this study, the electron energy distribution function in capacitively coupled radio frequency dry air discharge in three different regions along discharge tube was measured. It was observed that all regions do have Fermi electron energy distribution function which increases in magnitude with increasing the applied power, and decreasing with increasing the internal pressure. This function magnitude reaches its highest value near the powered electrode, while it decreases towards the earthed one.

في هذه الدراسة تم قياس دالة التوزيع الطاقي للالكترونات في التفريغ الراديوي السعوي للهواء الجاف في ثلاث مناطق مختلفة على طول أنبوبة التفريغ. لقد لوحظ أن دالة فيرمي هي السائدة في المناطق الثلاثة وان قيمتها تتناسب طردياً مع القدرة المسلطة وعكسياً مع الضغط الداخلي أن القيمة العليا لهذه الدالة تكون بالقرب من القطب الموجب وتنخفض باتجاه القطب السالب.

Listing 1 - 1 of 1
Sort by
Narrow your search

Resource type

article (1)


Language

English (1)


Year
From To Submit

2013 (1)