research centers


Search results: Found 1

Listing 1 - 1 of 1
Sort by

Article
Fabrication and characterization of porous silicon for humidity sensor application
تصنيع و توصيف السليكون المسامي لتطبيق متحسس الرطوبة

Loading...
Loading...
Abstract

Porous Silicon (PS) layer has been prepared from p-type silicon by electrochemical etching method. The morphology properties of PS samples that prepared with different current density has been study using atom force measurement (AFM) and it show that the Layer of pore has sponge like stricture and the average pore diameter of PS layer increase with etching current density increase. The x-ray diffraction (XRD) pattern indicated the nanocrystaline of the sample. Reflectivity of the sample surface is decrease when etching current density increases because of porosity increase on surface of sample. The photolumenses (PL) intensity increase with increase etching current density. The PL is affected by relative humidity (RH) level so we can use as humidity sensor. The electrical resistivity has been increased after PS layer formed due to the variation of the pore size and it was much higher after increase etching current.

حضرت طبقات السليكون المسامي باستخدام السليكون من النوع القابل (P-type) بواسطة طريقة التنميش االكهروكيميائي. خصائص التركيبية لعينات السليكون المسامي التي حضرت باستخدام كثافات تيار مختلفة درست بواسطة مجهر القوى الذرية (AFM)والتي بينت بان طبقات المسام تمتلك تركيب يشبة الاسفنج, وان معدل قطر المسام لعينات سطح السلكون المسامي تزداد مع زيادة كثافة تيار التنميش. حيود الاشعة السينية (XRD) بينت التركيب البلوري النانوي للعينة. انعكاسية سطح النموذج تقل بزيادة كثافة تيار التنميش وهذا يعود الى زيادة المسامية على سطح النموذج. ان كثافة الاستضاءة الضوئية (PL)تزداد بزيادة كثافة تيار التنميش, وكذلك تتاثر بواسطة بواسطة مستوى الرطوبة النسبية(RH) لذلك يمكن استخدامها كمتحسس للرطوبة. المقاومية الكهربائية للعينة تزداد بعد تكوين الطبقات المسامية على السطح ويعزى ذلك الى اختلاف حجم المسام وانها تكون اعلى مايمكن مع زيادة تيار التنميش.

Listing 1 - 1 of 1
Sort by
Narrow your search

Resource type

article (1)


Language

English (1)


Year
From To Submit

2018 (1)