research centers


Search results: Found 1

Listing 1 - 1 of 1
Sort by

Article
NO2 Gas Sensor Utilizing Fe2O3 Thin Films Prepared By DC- Magnetron Sputtering Method
متحسس غاز ثاني اوكسيد النايتروجين بأستخدام الصفائح الرقيقية لمادة ثالث اوكسيد الحديد بطريقة الترذيذ المغناطيسي ( DC )

Authors: Kassim M. Wadi .قاسم مهدي وادي --- Aqeel Nafea Abdulateef عـقيل نافع عبداللطيف
Journal: Al-Ma'mon College Journal مجلة كلية المامون ISSN: 19924453 Year: 2017 Issue: 30 Pages: 161-173
Publisher: AlMamon University College كلية المامون الجامعة

Loading...
Loading...
Abstract

In our research we investigated and reported the (NO2) gas sensor properties of iron oxide (Fe2O3) thin films prepared via magnetron DC- sputtering with different thicknesses according to various deposition times, each film thickness is tested with different sample temperature (200, 250 and 300) oC in order to enhance gas sensitivity. In the experimental and test procedure parts the preparation and test steps for the sensor were described briefly with simplified figures describing the system. The test was done for all samples under same biasing voltage and gas-air concentration. Sensitivity was calculated using the provided equation. The electrical properties of thin films are also shortly described. The results show that as the film thickness increases the film gas sensitivity increases and for each film thickness, the gas sensitivity increases also as the operating temperature increases

تم دراسة ومناقشة وتوثيق خواص المتحسس الغازي (NO2) المحضر من اوكسيد الحديد Fe2O3 بطريقة الترذيذ بواسطة magnetron – DC على صفائح زجاجية باسماك مختلفة وبأوقات ترسيب مختلفة . تم فحص هذه الاغشية الرقيقة بدرجات حرارة مختلفة 200 , 250 , 300 درجة مئوية لغرض تحديد حساسية هذا المتحسس الغازي والخواص الكهربائية. في الجزء العملي المتعلق بتحضير المتحسس و الفحص تم شرح خطوات الفحص بشكل مختصر مع صور مبسطة للمنظومة التي تم العمل فيها. أجري الفحص لجميع العينات تحت نفس جهد الانحياز وكذلك نفس تركيز الغاز-هواء . الحساسية قد تم حسابها من المعادلة المعطاة كما تم شرح الخواص الكهربائية للعينات.اظهرت نتائج هذه الفحوصات ازدياد الحساسية بازدياد السمك وحجم الحبيبات وكذلك بزيادة درجة التشغيل .

Listing 1 - 1 of 1
Sort by
Narrow your search

Resource type

article (1)


Language

English (1)


Year
From To Submit

2017 (1)