Abstract | Keywords | Fulltext | Export | TOC

In a previous study, a new design of a magnetic objective lens had been chosen among five new designs as the preferred one. Both of the iron shroud and polepiece bore diameters of the preselected lens have been changed and studied in this work to improve its magnetic and optical properties. An extensive investigation has been done to analyze the magnetic field distribution, magnetic flux density, and optical properties for each model using the finite element method (FEM) with the computer-aided programs. All the analyses have been carried out at the same coil excitation (NI = 10 kA.t). The new improved design yield here will be prepared to fabrication to be used as an objective lens for the SEM.

في دراسة سابقة، تمّ اختيار تصميم جديد لعدسة مغناطيسية شيئيّة من بين خمس تصاميم جديدة كأفضل عدسة. في هذا البحث تم تغيير و دراسة أقطار فتحتي كلٍ من الذراع الحديدي وقطب العدسة المنتخبة لتحسين خواصّها المغناطيسية والبصرية. حيث تمَ اجراء دراسة مكثّفة لتحليل توزيع المجال المغناطيسي وكثافة الفيض المغناطيسي والخواص البصرية لكل نموذج باستخدام طريقة العناصر المتناهية (FEM) بمساعدة برامج الحاسوب. كما تم انجاز جميع التحاليل عند تهيّج ملف ثابت (NI = 10 kA.t). التصميم الجديد الناتج في البحث الجاري سوف يعدّ للتصنيع ليستخدم كعدسة شيئية للمجهر الالكتروني الماسح

Objective lens design --- Electron magnetic properties --- Electron optical properties --- Iron shroud --- Polepiece. --- التصميم الهندسي للعدسة الشيئية، الخواص المغناطيسية الالكترونية، الخواصّ البصرية الالكترونية، الذراع الحديدي، القطب.