research centers


Search results: Found 1

Listing 1 - 1 of 1
Sort by

Article
A Comparative Study on the Electrical Characteristics of Generating Plasma by Using Different Target Sources
دراسة مقارنه للخصائص الكهربائية للبلازما المتولدة من أهداف مختلفة

Authors: Sarah K. Taha سارة خضير طه --- Sabah N. Mazhir صباح نوري مزهر --- Mohammed K. Khalaf محمد خماس خلف
Journal: Baghdad Science Journal مجلة بغداد للعلوم ISSN: 20788665 24117986 Year: 2018 Volume: 15 Issue: 4 Pages: 436-440
Publisher: Baghdad University جامعة بغداد

Loading...
Loading...
Abstract

In this research, the electrical characteristics of glow discharge plasma were studied. Glow discharge plasma generated in a home-made DC magnetron sputtering system, and a DC-power supply of high voltage as input to the discharge electrodes were both utilized. The distance between two electrodes is 4cm. The gas used to produce plasma is argon gas which flows inside the chamber at a rate of 40 sccm. The influence of work function for different target materials (gold, copper, and silver), - 5cm in diameter and around 1mm thickness - different working pressures, and different applied voltages on electrical characteristics (discharge current, discharge potential, and Paschen’s curve) were studied. The results showed that the discharge current and potential increase by increasing the applied voltage ranging between 300-700 V. Discharge current increased as working pressure increased in the beginning, and then semi-stabilized (slight increase) starting from 1×100 mbar, while discharge potential decreased at the beginning as working pressure increased and then semi-stabilized at the same point at which discharge current stabilized. The Paschen’s curves were compared with each other. It was concluded that the lower breakdown voltage was associated with lower work function of the (Au, Cu, and Ag) cathode material. Breakdown voltages were (395, 398, and 420) for Ag, Cu and Au respectively.

تم في هذا البحث دراسة الخصائص الكهربائية لبلازما التفريغ التوهجي باستخدام منظومة الترذيذ الماكنتروني ذات التيار المستمر المحلية الصنع لتوليد بلازما التفريغ. كذلك أستخدم غاز الاركون لانتاج البلازما بمعدل تدفقSccm 40 وبمسافة فاصلة بين الاقطاب بمقدار cm4 وباستخدام مجهز قدرة عالي الفولتية. تم دراسة تأثير كل من دالة الشغل لاهداف مختلفة (ذهب، فضة ، نحاس) - بقطر 5 سم وسمك 1 ملم- على الفولتية المسلطة وضغط التشغيل على الخصائص الكهربائية (تيار التفريغ، جهد الكاثود ومنحنى باشن). أظهرت النتائج ان كلا من تيار التفريغ وجهد الكاثود يزداد بزيادة الفولتية المسلطة والذي يتراوح بين 300-700. ان تيار التفريغ يزداد مع زيادة الضغط المسلط في البداية ثم يستقر نسبياَ عند ضغط (زيادة ضئيلة ) ابتدأ من mbar1. بينما يقل جهد الكاثود مع زيادة الضغط المسلط ثم يستقر في نفس النقطة التي استقر فيها تيار التفريغ.لقد قورنت منحنيات باشن مع بعضها بالاعتماد على نوع مادة الهدف. وتم الاستنتاج ان جهد الانهيار يرتبط بدالة الشغل لكل من الذهب والفضة والنحاس.

Listing 1 - 1 of 1
Sort by
Narrow your search

Resource type

article (1)


Language

English (1)


Year
From To Submit

2018 (1)