research centers


Search results: Found 1

Listing 1 - 1 of 1
Sort by

Article
Diagnostics of dusty plasma properties in planar magnetron sputtering device
تشخيص خصائص البلازما المغبره في منظومه الترذيذ المغناطيسية ذات الابعاد المستوية

Authors: Raghad T. Ahmead رغدة طلال احمد --- Qusay A. Abbas قصي عدنان عباس
Journal: Iraqi Journal of Physics المجلة العراقية للفيزياء ISSN: 20704003 Year: 2015 Volume: 13 Issue: 26 Pages: 64-75
Publisher: Baghdad University جامعة بغداد

Loading...
Loading...
Abstract

The effect of Al dust particles on glow discharge regions, discharge voltage, discharge current, plasma potential, floating potential, electron density and electron temperature in planar magnetron sputtering device has been studied experimentally. Four cylindrical Langmuir probes were employed to measure plasma parameters at different point on the radial axis of plasma column. The results shows the present of Al dust causes to increase the discharge voltage and reduce the discharge current. There are two electron groups in the present and absent of Al dust particles. The radial profiles of plasma parameters in the present of dust are non- uniform. The floating potential of probe becomes more negatively while the plasma potential becomes positive when the dust immersed into plasma region. The electron density increases in the present of dust particle which lead to decreases the electron temperature.

تم دراسة تجريبية لتأثير غبار الالمنيوم على كل من منطقة التفريغ المتوهج ،وفولتيه التفريغ، تيار التفريغ،جهد البلازما،الجهد العائم و درجة حرارة الالكترون في منظومة الترذيذ المغناطيسي۰فقد تم استخدام اربعة مجسات لانكمور اسطوانية لقياس معلمات البلازما لمختلف نقاط الاشعاعية على طول عمود البلازما ۰ فقد بينت النتائج في وجود غبار الالمنيوم تزداد فولتيه التفريغ وحدوث نقصان التيار التفريغ بالاضافة الى ذلك وجود مجموعتين من الالكترونات ذات طاقات مختلفة بوجود وعدم وجود الغبار الالمنيوم۰ وان التوزيع المحوري لمعلمات البلازما تكون غير منتظمة بوجود غبار الالمنيوم. وان الجهد العائم يصبح اكثر سالبيه بينما يصبح جهد البلازما موجب عند دخول الغبار الى منطقه البلازما وان الكثافة الإلكترونية تزداد بوجود الغبار مما تؤدي الى تقليل في درجة حرارة الالكترون.

Listing 1 - 1 of 1
Sort by
Narrow your search

Resource type

article (1)


Language

English (1)


Year
From To Submit

2015 (1)