research centers


Search results: Found 1

Listing 1 - 1 of 1
Sort by

Article
The axial profile of plasma characteristics of cylindrical magnetron sputtering device
توزيع الطولي لخصائص البلازما لمنظومة الترذيذ الماكنترون ذات الأبعاد الأسطوانية

Authors: Baha T. Chied بهاء طعمة جياد --- Rahman R. Abdula رحمن رستم عبدالله --- Qusay A. Abbas قصي عدنان عباس
Journal: Iraqi Journal of Physics المجلة العراقية للفيزياء ISSN: 20704003 Year: 2010 Volume: 8 Issue: 11 Pages: 41-47
Publisher: Baghdad University جامعة بغداد

Loading...
Loading...
Abstract

In the present work, a d.c. magnetron sputtering system was designed and fabricated. The chamber of this system was includes from two copper coaxial cylinders where the inner one used as a cathode (target) while the outer one used as the anode with Solenoid magnetic coil located on the outer cylinder (anode). The axial profile of magnetic field for various coil current (from 2A to 14 A) are shown. The plasma characteristics in the normal glow discharge region are diagnostics by the 2.2mm diameter Langmuir probe with different length along the cathode and located at different radial positions 1cm and 2cm from the cathode surface. The result of this work shows that, the electron energy distributions at different radial positions along the cathode surface are non-uniform. Therefore, the plasma characteristics at these radial positions along the cathode surface are non-uniform. So that, the ion bombardment along the cathode are non-uniform in this glow discharge region.

في هذا العمل تم تصميم وتكوين منظومة الترذيذ المستمر. ان حجرة هذه المنظومة تتكون من اسطوانتين نحاسيتين ذات محور مشترك حيث تكون تستخدم الاسطوانة الداخلية كقطب كاثود (هدف) أما الخارجية فتستخدم كقطب موجب حيث تم وضع ماف مغناطيسي على السطح الخارجي الاسطوانة الخارجية ( الانود). ان توزيع الطولي للمجال المغناطيسي المتولد من الملف المغناطيسي لمختلف التيارات من 2 أمبير إلى 14 أمبير قد بينت. ان خصائص البلازما المتولدة في منطقة التوهج الاعتيادي قد تم تشخيصها باستخدام مختلف الأطوال من مجس لانجمور وعلى أبعاد مختلفة من سطح الكاثود وهي 1 سنتيمتر و 2 سنتيمتر. ان نتائج هذا البحث قد بينت بان توزيع طاقة الإلكترون على طول الكاثود لمختلف المواقع الشعاعية غير منتظمة. لذلك فان توزيع خصائص البلازما على طول الكاثود لمختلف المواقع الشعاعية غير منتظمة. لذا فان القصف الأيوني في منطقة التوهج هذه غير منتظم أيضا.

Listing 1 - 1 of 1
Sort by
Narrow your search

Resource type

article (1)


Language

English (1)


Year
From To Submit

2010 (1)