research centers


Search results: Found 1

Listing 1 - 1 of 1
Sort by

Article
High Sensitive MEMS Intraocular Capacitive Pressure Sensor (Glaucoma)

Authors: Tania Mohammed Abbas --- Qais Kareem Al-Gayem
Journal: Journal of University of Babylon مجلة جامعة بابل ISSN: 19920652 23128135 Year: 2018 Volume: 26 Issue: 7 Pages: 150-163
Publisher: Babylon University جامعة بابل

Loading...
Loading...
Abstract

Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) are a small-scale technology that was largely adopted by the IC industry and applied to miniaturize of all systems (electrical systems, mechanical, optical, fluidic, magnetic, etc.). Minimization has been accomplished with small manufacturing processes. A Capacitive pressure sensor is simply a diaphragm-type device in which the diaphragm displacement is determined by measuring the capacitance change between the diaphragm and a metal plate that is close to it. For this purpose, intraocular pressure sensors are important in detection and treatment of an incurable disease called glaucoma. To improve the sensitivity of the capacitive pressure sensor, low stress doped polysilicon material isused as a biocompatible material. Glaucoma is a group of eye diseases that occurs by high intraocular pressure (IOP). IOP is the pressure exerted by the ocular fluid called aqueous humor (the clear fluid inside the eye) that fills the anterior chamber of the eyeThe results Shows the simulated relation between capacitance and pressure for clamped ++silicon and polysilicon clamped. It can be seen from figure that the initial capacitance for clamped p++ silicon is about 1.81 pF the capacitance varies from 1.81 to 2.162 pF for clamped p++silicon and clamped polysilicon diaphragm, respectively, so the total variation of the capacitance. This result shows the use of poly silicon material in diaphragm is high sensitivity than the p++ silicon.

الأنظمة الميكانيكية الكهرو ميكانيكية الدقيقة(MEMS) هي تقنية صغيرة الحجم تم تبنيها بشكل كبير من قبل صناعة الدوائر المتكاملة (IC) وتطبيقها على تصغير جميع الأنظمة (الأنظمة الكهربائية والميكانيكية والضوئية والموائع والمغناطيسية وغيرها). تم تحقيق الحد الأدنى من خلال عمليات التصنيع الصغيرة. مستشعر الضغط السعوي هو ببساطة جهاز من نوع الحجاب الحاجز يتم فيه تحديد إزاحة الحجاب الحاجز عن طريق قياس تغير السعة بين الحجاب الحاجز ولوحة معدنية قريبة منه.لهذا الغرض، وأجهزة استشعار الضغط داخل العين مهمة في الكشف عن وعلاج مرض عضال يسمى الجلوكوما. لتحسين حساسية مستشعر الضغط بالسعة، يتم استخدام مادة البولي سيلكون منخفضة التوتر المخدر كمادة متوافقة حيويا. الجلوكوما هو مجموعة من أمراض العيون التي تحدث بسبب ارتفاع ضغط العين (IOP). IOP هو الضغط الذي يمارسه سائل العين يسمى الفكاهة المائية (السائل الواضح داخل العين) الذي يملأ الغرفة الأمامية للعينتظهر النتائج العلاقة المحاكاة بين السعة والضغط لـ ++ clamped silicon وpolysilicon. يمكن أن نرى من الشكل أن السعة الأولية لسيليكون p ++ المشكل هي حوالي 1.81 pF تتراوح السعة من 1.81 إلى 2.162 pF للسليكون p ++ المشدد والحجاب الحاجز polysilicon، على التوالي وبالتالي فإن التغير الكلي للسعة. هذه النتيجة تبين استخدام مادة البولي سيليكون في الحجاب الحاجز حساسية عالية من السيليكون p + +.

Listing 1 - 1 of 1
Sort by
Narrow your search

Resource type

article (1)


Language

English (1)


Year
From To Submit

2018 (1)