research centers


Search results: Found 4

Listing 1 - 4 of 4
Sort by

Article
Influence of grounded electrode area on breakdown current in RF capcitively coupled plasma
تأثير مساحة القطب المؤرض على تيار الانهيار في البلازما الراديوية ذات الازدواج السعوي

Author: Moyad A. Ahmad مؤيد عبدالله احمد
Journal: Iraqi Journal of Physics المجلة العراقية للفيزياء ISSN: 20704003 Year: 2012 Volume: 10 Issue: 17 Pages: 90-97
Publisher: Baghdad University جامعة بغداد

Loading...
Loading...
Abstract

The influence of the grounded electrode area on the ignition voltage in capcitively coupled radio frequency discharge at 13.56 MHz in argon gas is studied experimentally. The results indicate a systematic decrease of the breakdown voltage with increasing grounded electrode area for the same pd value. Results show that the secondary ionization coefficient γ increases with the increase of grounded electrode area. Furthermore, results also the discharge current at the breakdown voltage increases almost linearly with the increase of electrode area suggesting an almost constant current density.

تمت دراسة تأثير مساحة القطب المؤرض على فولتية القدح في التفريغ الراديوي السعوي بالتردد 13.56 MHz في غاز الاركون تجريبيا. تشير النتائج إلى الانخفاض النظامي لفولتية الانهيار مع زيادة مساحة القطب المؤرض لنفس القيم للضرب العددي لضغط الغاز والمسافة الفاصلة بين الأقطاب pd. بينت هذه الدراسة أيضا أن معامل التأين الثانوي γ يزداد مع زيادة مساحة القطب المؤرض .إضافة لذلك تبين إن قيمة تيار التفريغ عند فولتية الانهيار الكهربائي يزداد بشكل يكاد يكون خطيا مع زيادة مساحة سطح القطب المؤرض مما يدل على وجود كثافة تيار ثابتة.

Keywords

Plasma --- argon --- rf-discharge --- Breakdown.


Article
Diagnostics of low-pressure capacitivelycoupled RF dischargeargon plasma
تشخيص التفريغ الكهربائي عند الضغط الواطئ لمنظومة الاقتران السعوي ذو الترددات الراديوية لبلازما الاركون

Loading...
Loading...
Abstract

Low-pressure capacitively coupled RF discharge Ar plasma has been studied using Langmuir probe. The electron temperature, electron density and Debay length were calculated under different pressures and electrode gap. In this work the RF Langmuir probe is designed using 4MHz filter as compensation circuit and I-V probe characteristic have been investigated. The pressure varied from 0.07 mbar to 0.1 mbar while electrode gap varied from 2-5 cm. The plasma was generated using power supply at 4MHz frequency with power 300 W. The flowmeter is used to control Argon gas flow in the range of 600 standard cubic centimeters per minute (sccm). The electron temperature drops slowly with pressure and it's gradually decreased when expanding the electrode gap.As the gas pressure increases, the plasma density rises slightly at low gas pressure while it drops little at higher gas pressure. The electron density decreases rapidly with expand distances between electrodes.

تم دراسة التفريغ الكهربائي لبلازما الاركون عند الضغط الواطئ لمنظومة الاقتران السعوي ذو الترددات الراديوية باستخدام مجس لانكمور. وكذلك تم حساب درجة حرارة الالكترون وكثافة الالكترون وطول ديباي مع اختلاف الضغوط والمسافة بين القطبين. في هذا العمل صمم مجس لانكمور ذو الترددات الراديوية باستخدام مرشح 4 ميكا هيرتز كدائرة تعويض وبحثت العلاقة بين الفولتية والتيار. تم تغيير الضغط من 0.07 الى 0.1 ملي بار بينما تم تغيير المسافة بين القطبين من 2 الى 5 سنتمتر. استخدم مجهز قدرة ذو تردد 4 ميكا هيرتز لتوليد البلازما بطاقة 300 واط. وكذلك استخدم مقياس التدفق بمدى 600 سنتمتر مكعب بالدقيقة للسيطرة على تدفق غاز الاركون.ووجد ان درجة حرارة الالكترون تتناقص مع زيادة الضغط وتتناقص ايضا مع زيادة المسافة بين الاقطاب بينما تتزايد كثافة الالكترون عند زيادة الضغط وتتناقص عند زيادة المسافة بين الاقطاب.


Article
Radio Frequency Breakdown in Partial Z-Fold Waveguide CO2Laser
أنهيار الغاز في ليزر ثاني أوكسيد الكاربون ذو الحزمه الموجهه المطوي جزئيا على شكل حرف Z))

Author: H. A. Badran حسين علي بدران
Journal: Journal of Basrah Researches (Sciences) مجلة ابحاث البصرة ( العلميات) ISSN: 18172695 Year: 2007 Volume: 33 Issue: 3A Pages: 1-7
Publisher: Basrah University جامعة البصرة

Loading...
Loading...
Abstract

The detailed mathematical model for the evolution of uniformly distributed voltage in RF-excited partial Z-fold CO2 waveguide laser with common elec- trodes excited by a same RF source is discussed. In the experiment, we studied the voltage distribution along the electrodes. The length of the partial Z-fold channel is 3x460 mm (long channel) and that of the single channel is 460 mm.

مناقشة نموذج رياضي تفصيليا لتطوير توزيع الفولتيه بشكل منتظم في ليزر ثاني أوكسيد الكاربون المطوي جزئيا على شكل حرف Z والمحتوي أقطابا كهربائيه مشتركه تتهيج بنفس مصدر التردد الراديوي . عمليا تمت دراسة توزيع الفولتيه على طول الاقطاب حيث كانت طول القناة (الطويله) المطويه على شكل حرف Z 3x460 mm أما القناة المنفرده الاخرى بطول 460 mm .


Article
Radio Frequency Discharge Under the Effect of Magnetic Field
التفريغ الراديوي تحت تأثير المجال المغناطيسي

Authors: Haitham A. AL-Rawachy هيثم عبدالحميد الراوجي --- Eman Y. Abed إيمان يونس عبد
Journal: Rafidain journal of science مجلة علوم الرافدين ISSN: 16089391 Year: 2018 Volume: 27 Issue: 2A Pages: 182-195
Publisher: Mosul University جامعة الموصل

Loading...
Loading...
Abstract

In this study We tested the effects of external magnetic field (0-571 G) in dry air on the characteristic of capacitive radio discharge at 13.56MHz in a discharge chamber prepared for this purpose under different low pressure (1.0-0.05 Pascal) and different radio waves fallen. The technique which used in this study was the electrostatic probe down to see the I-V characteristic properties of this sensor to calculate the electrons energy distribution function inside the discharge system.

أُختبرت في هذه الدراسة تأثيرات المجال المغناطيسي الخارجي (0-571G) في الهواء الجاف على خواص التفريغ الراديوي السعوي عند التردد 13.56 MHz في حجرة التفريغ المعدة لهذا الغرض تحت ضغوط واطئة مختلفة (1.0-0.05Pascal) وقدرات مختلفة للموجة الراديوية الساقطة. التقنية المستخدمة في هذه الدراسة كانت المجس الالكتروستاتيكي المنفرد وصولاً الى معرفة منحني الخواص لهذا المجس ومنه احتساب دالة التوزيع الطاقي للالكترونات داخل منظومة التفريغ.

Listing 1 - 4 of 4
Sort by
Narrow your search

Resource type

article (4)


Language

English (3)

Arabic (1)


Year
From To Submit

2018 (1)

2015 (1)

2012 (1)

2007 (1)