research centers


Search results: Found 1

Listing 1 - 1 of 1
Sort by

Article
Design of the illumination system in the field emission Scanning Electron Microscope (SEM)
تصميم منضومة الاضاءة في المجهر الالكتروني الماسح ذو الانبعاث المجالي

Loading...
Loading...
Abstract

The main goal of This Work is to survey the field emission scanning electron microscope (SEM) to obtain on the optimal design for illumination system. The SEM optical column contains of illumination system that form a focused beam by electrons are released and animated to incident on the specimen surface, this backscattered electrons from the specimen surfaces, finally forming an image. mainly the optical column include a field emission source as the beam source, illumination system, electron control unit, and unit the vacuum. use of a finite element analyses in the design process of the SEM ingredient to be optimally determined. By the analysis we can predict the beam emission characteristics and relevant trajectories were predicted from the analysis of the present work from which a systematic design of the electron optical system is enabled.

يهدف هذا العمل الى دراسة تصميم منظومة الاضاءة في المجهر الالكتروني الماسح ذو الانبعاث المجالي . يتالف العمود البصري للمجهر الالكتروني الماسح من منظومة الاضاءة التي تنبعث خلالها الالكترونات لتشكل حزمة مبئرة تسقط على سطح العينة ثم تنعكس تلك الالكترونات من سطح العينة لتشكل الصورة . يتالف العمود البصري بصورة اساسية من قاذف الانبعاث المجالي كمصدر للحزمة , منظومة العدسات , وحدة السيطرة علي الالكترونات , وحدة التفريغ. يستعمل تحليل العناصر المحددة في تصميم مكونات المجهر الالكتروني الماسح للحصول على تصميم مثالي , خلال التحليل خصائص مسار الحزمة المنبعثة متوقع من خلال التصميم التخطيطي لمنظومة الاضاءة الالكترونية

Listing 1 - 1 of 1
Sort by
Narrow your search

Resource type

article (1)


Language

English (1)


Year
From To Submit

2017 (1)